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SJ5730高精度輪廓度測量儀是測量各種機械零件素線形狀和截面輪廓形狀的精密設備。該儀器工作臺采用高精度的橫向氣浮道軌和滾動垂直道軌，移動精度高、穩定性好、壽命長；測量效率高、操作簡單、適用于車間檢測站或計量室使用。

SuperViewW1輪廓度光學測量儀由照明光源系統，光學成像系統，垂直掃描系統以及數據處理系統構成。針對芯片封裝測試流程的測量需求，SuperViewW1非接觸式光學輪廓測量儀的X/Y方向標準行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。而SuperViewW1-Pro 型號增大了測量范圍，可覆蓋8英寸及以下晶圓，定

SJ5800中圖接觸式輪廓儀可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現一次掃描測量，尤其是大范圍曲面、斜面進行粗糙度檢測，如圓弧面和球面、異型曲面進行多種粗糙度參數、微觀輪廓度參數的測量。同時儀器還可對各種精密零件輪廓度、波紋度進行測量，對形狀參數進行分析。

SuperViewW1粗糙度輪廓光學測量儀采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統，保證測量精度高。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器輪廓掃描測量儀X軸、Z軸采用獨立運動系統，使用先進的兩軸聯動運動控制算法，可實現X、Z雙軸聯動掃描，測量時測針在工件表面做仿形運動掃描（主動掃描），既保持了恒測力，又保證了大的陡坡通過能力，工件調平操作簡單，同時避免了崩針、掛針等問題。該產品還支持量程定制，適用于各行業領域的實驗室或工作現場使用。

SuperViewW1三維光學輪廓形貌儀是一款既可以用于科學研究，也可以用于工業產品的光學檢測儀器。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中，測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。