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在材料生產檢測領域中，共聚焦工具顯微鏡測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

中圖儀器SuperViewW1白光光學干涉儀品牌采用了掃描模塊和內部抗振設計，可實現高測量精度重復性和高粗糙度RMS重復性。采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統，保證測量精度高.

中圖儀器VT6000共聚焦3D顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。主要采用3D捕獲的成像技術，它通過數碼相機針孔的高強度激光來實現數字成像，具有很強的縱向深度的分辨能力。所展現的放大圖像細節要高于常規的光學顯微鏡，擅長微納級粗糙輪廓的檢測。

NS系列微觀表面臺階顯微檢測儀是利用光學干涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度，500萬像素高分辨率彩色攝像機，即時進行高精度定位測量。可以將探針的形貌圖像傳輸到控制電腦上，使得測量更加直觀。

SuperViewW1白光干涉儀半導體測量儀器具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。

共焦顯微鏡系統所展現的放大圖像細節要高于常規的光學顯微鏡。VT6000共聚焦光學測量顯微鏡技術以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，在相同物鏡放大的條件下，所展示的圖像形態細節更清晰更微細，橫向分辨率更高。