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NS系列高精度薄膜厚度臺(tái)階儀集成超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

中圖儀器NS系列探針式臺(tái)階儀薄膜表面粗糙度測試儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

NS系列微納米測量接觸式臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，其主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具有亞埃級(jí)分辨率，13μm量程下可達(dá)0.01埃。

NS系列納米臺(tái)階測厚儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，其采用LVDC電容傳感器，主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量，具有的亞埃級(jí)分辨率和超微測力等特點(diǎn)。

NS系列薄膜臺(tái)階高度測量儀采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率，同時(shí)，其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。其主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

NS系列接觸式膜層厚度臺(tái)階儀采用接觸式測量方式，主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率，同時(shí)，其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。